دستگاه اندازه گیری مختصات و کاربرد آن
فصل اول : مقدمه
1-1- اندازه گیری ..... ....... .......................................................................................................................... 2
1-2- نیاز به اندازه گیری.............................................................................................................................. 2
فصل دوم : دستگاه اندازه گیری مختصات ( cmm )
2-1- مقدمه ..................................................................................................................................................5
2-2- تاریخچه ..............................................................................................................................................5
2-3- اجزای تشکیل دهنده cmm ..... ..........................................................................................................6
2-3-1- سازه مکانیکی ..................................................................................................................................7
2-3-2- نرم افزار cmm .............................................................................................................................12
2-3-3- پرابها .............................................................................................................................................13
2-4- کالیبراسیون ........................................................................................................................................16
2-5- شرایط محیطی ...................................................................................................................................17
فصل سوم : مقدمه ای بر فناوری نانو
3-1- مقدمه ................................................................................................................................................19
3-2- تعریف ...............................................................................................................................................19
3-3- تاریخچه فناوری نانو...........................................................................................................................20
3-4- روشهای ساخت نانو مواد....................................................................................................................22
3-4-1- فرآوری مکانیکی ..........................................................................................................................23
3-4-1-1- آسیاب های مکانیکی ................................................................................................................24
3-4-1-1-1- آلیاژ سازی مکانیکی .............................................................................................................26
3-4-1-1-2- عوامل موثر در آسیاب مکانیکی ............................................................................................27
3-4-1-1-3- آسیاب های گلوله ای با انرژی زیاد........................................................................................28
3-4-1-1-4- آسیاب های گلوله ای سیاره ای .............................................................................................31
3-4-1-1-5- آسیاب های گلوله ای لرزشی ................................................................................................32
3-4-1-1-6- تصادم گلوله – پودر – گلوله ................................................................................................34
3-4-2- الکترو ریسندگی ...........................................................................................................................35
3-4-3- قوس الکتریکی ..............................................................................................................................36
3-4-3-1- روش کار ..................................................................................................................................36
3-4-4- رسوب دهی فاز بخار......................................................................................................................37
3-4-4-1- رسوب دهی شیمیایی بخار .........................................................................................................37
3-4-4-2- رسوب دهی فیزیکی بخار ..........................................................................................................38
3-4-5- پاشش حرارتی ...............................................................................................................................38
3-4-6- روش سل ژل ................................................................................................................................39
3-5- مهمترین کاربردها ..............................................................................................................................40
3-5-1- کاربرد در خودروسازی .................................................................................................................41
فصل چهارم : روش های اندازه گیری نانو مواد
4-1- تاریخچه ............................................................................................................................................44
4-2- اسپکتروسکوپی الکترون اوژه .............................................................................................................44
4-3- پراش اشعه ایکس ..............................................................................................................................48
4-4- آنالیز بر مبنای یون ..............................................................................................................................49
4-5- طیف سنج رامان ................................................................................................................................50
4-5-1- اصول کار .....................................................................................................................................50
4-5-2- ساختمان دستگاه ............................................................................................................................51
4-5-3- کاربردها .......................................................................................................................................52
4-6- طیف سنجی جرمی ............................................................................................................................52
4-7- سیستم باریکه یونی .............................................................................................................................53
4-7-1- اصول کار.......................................................................................................................................54
4-7-2- کاربردها........................................................................................................................................55
4-8- دستگاه طیف سنجی مادون قرمز..........................................................................................................55
4-9- رزونانس مغناطیسی هسته.....................................................................................................................56
4-10- پراکندگی بازگشتی رادرفورد ..........................................................................................................57
4-10-1- اصول فیزیکی ..............................................................................................................................57
4-10-2- تجهیزات مورد استفاده..................................................................................................................57
4-10-3- مزایا و معایب ..............................................................................................................................60
4-10-4- کاربردها .....................................................................................................................................61
4-11- طيفسنجي تبديل فوريه مادون قرمز.................................................................................................61
4-11-1- تئوری .........................................................................................................................................63
4-11-2- تجزیه کیفی ................................................................................................................................63
4-11-3- کاربردها .....................................................................................................................................63
4-12- طیف نگاری الکترونی برای آنالیز شیمیایی........................................................................................64
4-12-1- کاربردها......................................................................................................................................65
4-12-2- نمونه ها........................................................................................................................................65
4-12-3- محدودیت ها ..............................................................................................................................66
4-12-4- مدت زمان آنالیز ..........................................................................................................................66
4-13- میکروسکوپ الکترونی عبوری ........................................................................................................66
4-14- میکروسکوپ الکترونی روبشی ........................................................................................................67
4-15- میکروسکوپ الکترونی روبشی محیطی ............................................................................................69
فصل پنجم : نانو cmm ها
5-1- مقدمه ................................................................................................................................................71
5-2- میکروسکوپ نوری میدان نزدیک روبشی ..........................................................................................71
5-3- میکروسکوپ روبشی تونلی ................................................................................................................73
5-3-1- مقدمه ............................................................................................................................................73
5-3-2- نگاهی اجمالی بر عملکرد میکروسکوپ روبشی تونلی ....................................................................74
5-3-3- روش های مبتنی بر استفاده مستقیم از STM در تعیین مشخصات سطوح.........................................75
5-3-3-1- مد جریان ثابت ..........................................................................................................................76
5-3-3-2- مد ارتفاع ثابت ..........................................................................................................................77
5-3-3-3- مد نقشه برداری از تابع کار سطح ...............................................................................................78
5-3-3-4- تعیین نقشه چگالی حالات الکترونها ...........................................................................................79
5-3-3-5- مد سنجش نقشه ترازهای انرژی ارتعاشی الکترونها .....................................................................79
5-4- میکروسکوپ نیروی اتمی ..................................................................................................................80
5-4-1- مقدمه ............................................................................................................................................80
5-4-2- نحوه عملکرد ................................................................................................................................81
5-4-3- آشکار سازی جهت گیری تیرک ...................................................................................................84
5-4-4- هندسه تیرک .................................................................................................................................85
5-4-5- سوزن ها ........................................................................................................................................87
5-4-6- نحوه برهمکنش سوزن با سطح .......................................................................................................89
5-4-7- مدهای مختلف AFM ..................................................................................................................90
5-4-7-1- مدهای تماسی ...........................................................................................................................90
5-4-7-1-1- مد نیرو ثابت .........................................................................................................................91
5-4-7-1-2- مد ارتفاع ثابت ......................................................................................................................92
5-4-7-2- روش های شبه تماسی ...............................................................................................................92
5-4-7-2-1- مد دامنه ثابت ........................................................................................................................94
5-4-7-2-2- مد تصویر برداری از اختلاف فاز............................................................................................94
5-4-8- کاربردها ...................................................................................................................................... 95
5-4-8-1- مطالعة فرآيندهاي اصطكاكي و تحول ادوات تحت اصطكاك در ابعاد نانومتر .........................95
5-4-8-2- متالوژی و خوردگی فلزات ........................................................................................................96
5-4-8-3- غشاها و فیلتر ها .........................................................................................................................96
5-4-8-4- كنترل كيفيت و بررسي ميزان نقصهاي سطحي در واحدهاي حافظة مغناطيسي...........................96
5-5- نانو CMM .......................................................................................................................................97
5-5-1- مقدمه ............................................................................................................................................97
5-5-2- ایده های اولیه ................................................................................................................................97
5-5-3- فاکتور های مختلف ماشین NANO CMM ...............................................................................98
5-5-4- ویژگیهای ماشین نانو CMM.........................................................................................................99
5-5-4-1- مقیاس........................................................................................................................................99
5-5-4-2- محرک....................................................................................................................................100
5-5-4-3- میز ..........................................................................................................................................101
5-5-4-4- نانو پراب ................................................................................................................................102
5-5-4-4-1- پراب NPL .......................................................................................................................103
5-5-4-4-2- پراب فنر سه برگی ..............................................................................................................104
5-5-4-4-3- پراب PTB ........................................................................................................................105
5-5-4-4-4- پراب METAS.................................................................................................................106
5-5-4-4-5- پراب فیبر نوری PTB ........................................................................................................107
5-5-4-4-6- پراب فیبر نوری MITUTOYO ......................................................................................107
5-5-4-5- مواد بکار برده شده .................................................................................................................108
5-5-5- پیشرفت های صورت گرفته در زمینه نانو CMM ها ....................................................................108
5-5-5-1- نانو CMM موازی با مکانیزم سه درجه آزادی ........................................................................108
5-5-5-2- استفاده از مفاصل مغناطیسی کروی ..........................................................................................109
5-5-5-3- توسعه سیستم نانو پراب در دانشگاه توکیو ................................................................................110
5-5-6- آنالیز و تحلیل اجزای ماشین نانو CMM......................................................................................112
5-5-6-1- ساختمان ماشین .......................................................................................................................112
5-5-6-1-1- آنالیز تنش ..........................................................................................................................113
5-5-6-1-2- آنالیز رسانش گرمایی .........................................................................................................113
5-5-6-1-3- آنالیز دفرمه شدن گرمایی ....................................................................................................114
5-5-6-2- آنالیز سوزن پراب تماسی ........................................................................................................115
5-5-6-2-1- بررسی میزان جابجایی در اثر نیرو ........................................................................................116
5-5-6-2-2- آنالیز توزیع تنش در نوک سوزن در اثر نیروی ماکزیمم ......................................................117
5-5-6-2-3- بررسی تغییر شکل پلاستیک پس از برداشتن بار ...................................................................117
5-5-7- نتایج و پیشنهادات ........................................................................................................................118
پیوست : تصاویر ، نمودارها و جداول
1- تصاویر مربوط به فصل دوم ..................................................................................................................121
2- تصاویر مربوط به فصل چهارم ...............................................................................................................122
3- تصاویر مربوط به فصل پنجم .................................................................................................................130
مراجع
1- مراجع فارسی .......................................................................................................................................142
2- اینترنت ................................................................................................................................................142
3- مراجع لاتین .........................................................................................................................................143